由于侧重点不同，各国制造商和计量标准部门对三坐标测量仪提出了若干份计量标准。在各国的标准中，所推荐使用的标准器也是不完全相同，可以根据测量目的和要求加以选择。

标准三坐标测量仪所用的标准器种类繁多，在周期校准中，通常采用的标准器是双屏激光干涉仪、量块、步距规等。在中间检查中通常采用的标准器是量块、步距规、球板、孔板、标准球、球棒、环规、3D标准器等。下面介绍常用的三种标准器。

一、量块

量块是对三坐标测量仪进行示值误差校准时常用的实物标准器。它的优点是使用广泛、安装操作简便、溯源能力强、准确度高；缺点是测量时间长、较大测量长度只有1m。

用量块测量时，需将选取的不同长度的量块安装在独用支架上，使量块的方向与要测量的轴或空间方向一致。独用支架上有可调节的支撑点，安装量块时应该注意将量块支承在离两端0.2113L（L为量块长度）的支承位置上，以保证量块的两个测量面相互平行。

测量结果中应引入标准量块修正量和温度偏离20℃时的温度修正。

二、球板

标准规范中引入了球板作为长度测量不确定度评 价的一种可选择的工具。它的优点是操作简便、快速，溯源能力强，球板是二维标准器，可获得比一维标准器更丰富的信息，如对25个球的球板进行测量，可以得 到300个长度测量值，对25个球的球板进行两个相交位置的测量将得到600个测量数据。通过球心距的测量可以计算得到三坐标测量仪所有几何参数。球板的 校准方法并不复杂，但校准的不确定度比量块差，同时球板的较大和较小长度尺寸受到限制。球板对较低准确度的中小型坐标测量机是可选的标准器。

使用球板作为标准器，是通过计算点间距离进行长度测量示值误差的校准。

常用的球板为5行x5列，240mmx240mm，332mmx332mm，532mmx532mm。较大的球板可制成1mx1m，有17行x17列标准球。球板为钢制材料，标准球为陶瓷材料制成，通过液氮冷却技术将陶瓷卡紧固定。标准球在球板的两面均可探测到。