蔡司三坐标测量机主机结构主要分为：  

1、框架：是测量机的主体机械结构架子。  

2、标尺系统：是测量机的重要组成部分，是决定仪器精度的一个重要环节。蔡司三坐标测量机所用的标尺有光栅尺、感应同步器、磁尺及光波波长等。  

3、三坐标测量机导轨：是测量机实现三维运动的重要部件。测量机多采用滑动导轨、滚动轴承导轨和气浮导轨，而以气浮静压导轨为主要形式。气浮导轨由导轨体和气垫组成，有的导轨体和工作台合二为一。气浮导轨还包括气源、稳压器、过滤器、气管、分流器等一套气体装置。  

4、驱动装置：是蔡司三坐标测量机的重要运动机构，可实现机动和程序控制伺服运动的功能。在测量机上一般采用的驱动装置有滚动轮、钢丝、齿形带、齿轮齿条、光轴滚动轮等传动，并配以伺服马达驱动。直线马达驱动正在增多。  

5、平衡部件：主要用于Z轴框架结构中。它的功能是平衡Z轴的重量，以使Z轴上下运动时无偏得干扰，使检测时Z向测力稳定。  

6、转台与附件：转台是测量机的重要元件，它使测量机增加一个转动运动的自由度，便于某些种类零件的测量。