三坐标测量仪对材料的要求有：  

导热性要好，以免外界有温度变化（随时间及空间变化）时形成构件内部的温度梯度，引起机器结构的变形（主要是扭转和弯曲）；  

热膨胀系数要小，以免温度变化引起过大的伸长缩短；  要具有比较大的弹性模量（刚性），以免受力后有较大的变形；  

三坐标测量仪高的硬度及耐磨性，保证不易划伤、磨损； 

较高的强度不易断裂；  

运动部分的材料要求密度小，以减小由于测量机的高速、高加速运动而产生的测量机惯性力；  

考虑材料吸水率小，以免受潮变形（质量差的花岗石，由于吸水，足以引起微米级的变形）； 

三坐标测量仪工艺性好，易于加工；  成本要低。