三坐标测量仪的测量方式可以分为接触式测量和非接触测量。其中接触测量方式是常用于机加工产品、压制成型产品、金属膜等测量工具。为了分析工件加工数据或为逆向工程提供工程原件信息经常需要用三坐标测量机常用扫描。

三坐标测量仪的扫描操作事应用PC程序在测量物体表面特定区域进行数据点采集该区域可以是一条线、一个面片、零件的一个截面一个曲线或者是边距一定的距离扫描类型与测量模式是否与CAD有关控制屏幕上的扫描选择是由状态按钮（手动或者是自动）决定。

三坐标测量仪若采DCC方式测量，又有CAD文件可选扫描的方式开线、闭线、面片、截面和周线扫描。