主要有以下四点：

1、蔡司三坐标测量机的工件可以随意放置，不需找正。

2、蔡司三坐标测量机使用冷光源系统，可以避免容易变形的工件在测量是因为热变形所产生的误差，并避免了由于碰触引起的变形。

3、蔡司三坐标测量机不受零件表面纹理和材质影响的高度方向的准确测量，实现真正的非接触式的3D测量。三坐标测量仪使得微细制造的零件在测量高度、平面度及空间角度等位置关系方面成为可能，并且具有高可靠性的测量准确性和重复性。

4、蔡司三坐标测量机装配四种可调的光源系统，不仅观测到工件轮廓，而且，对于工件的表面形状和高低也可以实现准确的测量。