探针是坐标测量机的一部分，主要是用来触测工件表面，使得测头的机械装置移位产生信号，触发并采集一个测量数据。一般来说，探针都是由一个杆和红宝石球组成，通过需要测量工件的特征，来判断使用的探针的类型和尺寸。

   术语：

   DK：探针直径

   L：探针总长

ML：工作长度

为了保证一定的测量精度，在探针的选择上需要注意一下几点：

1. 探针长度尽可能短：探针接触工件表面后的弯曲或偏斜越大，则测量精度将越低，因此在测量时尽可能采用短探针，探针杆尽可能粗。

2. 连接点越少越好：每次将探针与加长杆连接在一起时，就会额外地造成潜在弯曲和变形，因此在使用过程中尽可能减少连接点。

3. 使用的测球尽可能大：测球和测杆的空隙最大，这样可以减少由于“晃动”而误触发的可能；测球直径较大可削弱被测表面未抛光对精度造成影响。

蔡司探针系列：

1. 球形测头/碳化钨杆

碳化钨杆经常使用在小直径测头上。

2. 球形测头/ThermoFit杆

采用ThermoFit材质作为探针杆有很多优点：耐热稳定性，重量轻和高硬度。因此可以制成很长且重量很轻的探针。

3. 钻石扫描探针

钻石是世界上已知最坚硬的材料。使用钻石探针测量是表面没有磨损，测量更加稳定和准确。由于探针磨损几乎没有，因此大大提高了测量效率。