三坐标测量机主要由：主机，控制系统，探头系统和软件系统组成。以下主要介绍蔡司三坐标测量机的控制系统。

控制柜C99——控制技术的可靠性和最佳的控制运作是蔡司三坐标测量机的传统标志：ISC智能扫描控制系统，内置矢量控制技术；探测力不受任何偏移影响的主动扫描；带散热装置的C99控制柜保护等级是IP22。蔡司三坐标测量机采用高机动性伺服驱动系统，各轴皆有电子驱动监测和可靠的防碰撞保护功能，X和Y轴还附加有冲力限制机构。控制系统本身就是一个计算机系统，具有自诊断功能。高性能的仿样内插（Spline interpolation）使探头可以精确跟踪规定的路径。先进的21项参数几何误差补偿。蔡司三坐标测量机的控制系统采用先进的多微机多轴矢量控制系统，该控制系统是目前三坐标测量机领域中最先进的控制系统。