共焦显微术的概念早由M. Minsky在20世纪50年代提出。M. Minsky在哈佛大学做研究期间，于1957年对载物台扫描共焦光学蔡司显微镜申报了美国国家。在此成像系统中，采用点光源照明样品，而携带样品信息的光被点探测器收集，利用横向和轴向扫描技术获得整个样品的三维信息。

共聚焦显微镜原理

光学显微镜相机接受所有来自样品表面的信 息，包括聚焦的和非聚焦的平面

而共聚焦蔡司显微镜在光路中增加了针孔，针孔会过 滤掉非焦平面的光，探测器只接收来自样品聚 焦平面的信息

简单来说，共聚焦蔡司显微镜成像有如下步骤：

通过针孔过滤掉非焦平面的信息

一次扫描获得单张只有焦平面信息的图像

通过Z轴方向移动获取多张图像

计算获得每个像素的高度信息

创建表面三维形貌信息