三坐标测量机是由测头及其附件系统组成,侧头是测量机探测时发送信号的载体,是三坐标测量机的关键部分。测针精度的高低很大程度上决定了测量机测量的重复值及精度。不同的零部件需选择不同的测针进行测量。主要有触发式测针、扫描式测针、非接触式(激光、影像)测针等。

一、触发式测针

触发式测针又称开关测针，是使用多的一种测针，其工作原理是一个开关式传感器。当测针与零部件产生接触时而产生角度变化时，发出一个开关信号。这个信号传送到控制系统后，控制系统对此刻的光栅计数中的数据锁存，经处理后传送给测量软件，表示测量的一个点。

二、扫描式测针

扫描式测针又称比例测针或模拟测针，有两种工作模式：一种是触发式、一种是扫描式。扫描测针在与零部件表面接触、运动过程中定时发出信号，采集光栅数据，并可以根据设置的原则过滤粗大误差，称为“扫描”。扫描测针也可触发式工作，属于高精度方式，与触发式测针的工作原理不同的是它采用回退触发方式。

三、非接触式(激光、影像)测针

非接触式测量方法具有广泛性，以白光、激光为代表的光学测量备受关注。光学测量可分为摄影测量法、飞行时间法、三角法、投影光栅法、成像面定位方法、共焦显微镜法、干涉测量法、隧道显微镜方法等，采用不同的技术，可实现不同精度测量。